射頻等離子清洗機

小型真空射頻等離子清洗機TS-PL10MA

  • 產品編號:TS-PL10MA
  • 產品規格: 小型等離子清洗機
  • 產品用途:

    等離子清洗、刻蝕、表面處理、活化、去膠

產品介紹

小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品參數:

名稱 小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA
控制方式 PLC+觸摸屏
供電電源 AC220V(±10V)50/60Hz
整機功率 1.5KW(含真空泵)
等離子源功率 300W(0-300連續可調)
等離子源頻率 13.56MHz,自動阻抗匹配
清洗時間 1-9999s 可調
真空度 <80Pa
工藝氣體 二路工藝氣體
外形尺寸(mm) 500mm ×550mm ×750mm(長×寬×高)

小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品特點:

卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體,軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。

高密度等離子電源技術:采用進口等離子電源電路技術,確保出眾的清洗效果。

獨有放電技術:特殊處理的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

高精度氣體流量監測系統:兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體),雙路氣流控制,比例可調,采用MFC質量流量計、氣體管路及閥件。

優質產品部件:產品部件采用國內外頂尖優質品牌,確保設備性能優越。

數字計時單元:1-9999s選擇范圍時間顯示,處理過程結束后自動終止。

適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產品,包括內孔內壁,全方位均勻清洗。

處理全程無污染 :等離子清洗機本身是很環保的設備,無產生任何污染,處理過程也無產生任何污染。

射頻等離子清洗機的基本構造:

根據用途的不同,可選用多種構造的等離子清洗設備,并可通過選用不同種類的氣體,調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。 但等離子清洗機的基本結構大致是相同的, 一般裝置可由真空室、真空泵、射頻電源、電 極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵,射頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。設備的運行過程如下:

(1 )被清洗的工件送入真空室并加以固定, 啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內的真空程度達到10 Pa 左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要 2 min。

(2 )向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100Pa。 根據清洗材質的不同,可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮氣等氣體。

(3 )在真空室內的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發 生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件,開始清洗作業。一 般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。

(4 )清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及氣化的污垢排出,同時向真空室內鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。